安川应用于洁净室的机器人非常多，有用于第6代超大型液晶玻璃基板箱体内高速搬运的MFL2200D和MFS2200D洁净机器人，也有用于第8代超大型液晶玻璃基板箱体内高速搬运的MFS2500D，有适用于真空环境内的双腕玻璃基板搬运机器人SEMISTAR-VD95D，有适用于洁净室内最大负载重达165KG大型重物搬运的MCL165，有300枚/小时的高速搬运的半导体晶片搬运用机器人SEMISTAR-MR124。

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